在電子信息產(chǎn)業(yè)鏈中,硅材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)賴以生存的基礎(chǔ)材料。半導(dǎo)體技術(shù)的迅猛發(fā)展是建立在占半導(dǎo)體材料95%的硅材料基礎(chǔ)上的。隨著近幾年中國電子信息產(chǎn)品制造大國地位的日益凸現(xiàn),國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)水漲船高,實現(xiàn)了高速發(fā)展。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游的半導(dǎo)體硅材料行業(yè)(主要指多晶硅和單晶硅)在下游市場的驅(qū)動下也取得了長足的進(jìn)步,然而國內(nèi)硅材料產(chǎn)業(yè)整體水平低下,難以滿足市場需求卻也是不爭的事實。
中國多晶硅產(chǎn)量不足世界總產(chǎn)量的0.4%
多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的原料。目前中國多晶硅產(chǎn)量不到世界總量的0.4%,而中國信息產(chǎn)業(yè)總體規(guī)模已居世界前列,因此所需多晶硅幾乎完全依賴進(jìn)口。先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)由美、日、德等國所壟斷,目前世界生產(chǎn)多晶硅*先進(jìn)的國家是美國、德國、日本和意大利等少數(shù)幾個發(fā)達(dá)國家,其產(chǎn)量的總和占世界多晶硅總產(chǎn)量的90%以上。
目前國內(nèi)年需多晶硅1000余噸,而現(xiàn)有生產(chǎn)能力僅100噸左右,規(guī)模太小,工藝落后,市場缺口很大,每年都花去大量外匯從國外進(jìn)口。隨著中國成為世界上電子信息產(chǎn)品的主要生產(chǎn)國和主要市場,多晶硅的需求量將進(jìn)一步增長,國家為此專門將多晶硅材料列入當(dāng)前重點鼓勵發(fā)展和重點鼓勵外商投資發(fā)展的產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)品,全力扶持硅材料工業(yè)發(fā)展。2004年中國半導(dǎo)體用多晶硅的需求量為1017.2噸,增長率為19.2%。
中國多晶硅工業(yè)雖起步不晚,但發(fā)展緩慢。生產(chǎn)、技術(shù)、工藝落后,設(shè)備陳舊,生產(chǎn)規(guī)模小,物耗、能耗高,產(chǎn)品成本高,質(zhì)量難以保證,和國際水平相比差距較大,再加上生產(chǎn)的電耗與物耗普遍高于國際標(biāo)準(zhǔn),這使得中國的多晶硅廠家喪失了國際競爭力。國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)廠家的數(shù)量不斷減少,現(xiàn)在國內(nèi)僅有四川峨嵋半導(dǎo)體材料廠、河南洛陽單晶硅廠兩家企業(yè)能夠生產(chǎn)多晶硅及直拉單晶硅和小直徑區(qū)熔單晶硅。2004年中國多晶硅的產(chǎn)量為105噸。
中國多晶硅的生產(chǎn)方法,前幾年基本還是采用傳統(tǒng)的西門子法,*近采用中國自己改良的技術(shù)與引進(jìn)俄羅斯的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)相結(jié)合。例如四川省在峨嵋半導(dǎo)體材料廠的基礎(chǔ)上擬投資11.92億元,引進(jìn)消化吸收俄羅斯多晶硅技術(shù),建設(shè)年產(chǎn)1000噸多晶硅生產(chǎn)線以滿足市場需求。即便如此,中國多晶硅的生產(chǎn)仍遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足不了國內(nèi)的需求。隨著芯片產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展,缺口將越來越大。為滿足國內(nèi)外多晶硅市場的要求,適應(yīng)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求,引進(jìn)世界*技術(shù),發(fā)展中國多晶硅產(chǎn)業(yè),已成為國內(nèi)IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。
單晶硅產(chǎn)量穩(wěn)步增長
單晶硅是半導(dǎo)體器件生產(chǎn)的關(guān)鍵性基材。截止到2004年底,中國擁有已投產(chǎn)的12英寸生產(chǎn)線1條,8英寸生產(chǎn)線9條,6英寸生產(chǎn)線6條。2004年中國IC制造業(yè)實現(xiàn)了超高速增長,在下游市場的拉動下,2004年單晶硅棒的市場需求量為2811.5噸,增長率高達(dá)178.5%。同時拋光硅片的市場需求量達(dá)到了68198.3萬平方英寸,實現(xiàn)了133.5%的增長。市場對6英寸和8英寸硅片的需求增長非常強(qiáng)勁,成為拋光硅片市場增長的主要動力來源。
近年來,中國單晶硅產(chǎn)量明顯穩(wěn)步增長,增長的原因一方面是來自國際上對低檔和廉價硅材料需求的增加;另一方面是近年來中國各方面發(fā)展迅速,各類信息家電和通信產(chǎn)品需求旺盛,因此半導(dǎo)體器件和硅材料的市場需求量都很大。為了滿足這種巨大的需求,國內(nèi)外廠家紛紛在中國建立和準(zhǔn)備建立晶片及IC生產(chǎn)線。北京擬在*近的10年建設(shè)20座0.25微米以下的8英寸IC加工生產(chǎn)線;上海將在未來15年內(nèi)投資700億-750億元建設(shè)10條以上高水平的IC生產(chǎn)線;另外,浙江和深圳也都在積極籌備半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地。在硅單晶拉制和硅片加工方面,我國建立了直徑100mm-150mm的硅片生產(chǎn)線。目前世界硅片的主流產(chǎn)品是直徑200mm -300mm,中國與世界水平有較大差距。中國的有研硅股和峨嵋半導(dǎo)體材料廠有200mm直拉硅單晶的生產(chǎn)能力,浙大海納在寧波投資建立了200mm直拉硅單晶生產(chǎn)廠。在中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的帶動下,2003年中國半導(dǎo)體用單晶硅的產(chǎn)量是495噸,2004年的產(chǎn)量為590噸。
中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,拉動了對拋光硅片需求的快速增長,國內(nèi)生產(chǎn)遠(yuǎn)遠(yuǎn)無法滿足市場的需求,拋光硅片需要大量從國外進(jìn)口。國內(nèi)8英寸生產(chǎn)線用硅片幾乎全部進(jìn)口,大部分的6英寸硅片也需要進(jìn)口。單晶硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展依靠國外的事實不能長期下去,為了改變這樣的境地,國內(nèi)企業(yè)應(yīng)走“產(chǎn)、學(xué)、研”之路,加強(qiáng)與高等院校、科研院所的合作,因為國內(nèi)很多的技術(shù)成果掌握在科研單位里,通過將這些技術(shù)成果產(chǎn)業(yè)化,降低企業(yè)成本,提高產(chǎn)品質(zhì)量,獲得客戶認(rèn)可,進(jìn)而切入國內(nèi)6英寸和8英寸材料市場,改變依靠從國外進(jìn)口硅片的現(xiàn)狀。