雙工位真空燒結(jié)爐主要應(yīng)用于電力半導(dǎo)體器件,燒結(jié),焊接等工藝
設(shè)備參數(shù)：
★真空室工位數(shù)：1-3位
★真空度：1x10-3Pa，加擴(kuò)散泵為5x10-6Pa
★工作溫度：1000℃
★充氣的*高壓強(qiáng)：0.5Mpa（可控）
★不銹鋼內(nèi)膽：Φ150-Φ350x1300
★橫溫區(qū)：600-1200mm±1oC
★控溫方式：三點(diǎn)三段采用進(jìn)口日本高精度控溫器
★控溫曲線：9段升降溫/999小時(shí)
★工作方式：自動(dòng)或手動(dòng)自由轉(zhuǎn)換
★單點(diǎn)精度：±10℃/24h
★正壓、負(fù)壓均采用數(shù)字顯示表
★雙工位交替工作，行走X、Y方向