提　要　就陶瓷基復(fù)合材料的增韌機(jī)理、基體和增強(qiáng)增韌纖維的選擇、陶瓷基復(fù)合材料的制造工藝，尤其是CVI工藝作了較為全面的總結(jié)和介紹，并提出了陶瓷基復(fù)合材料亟待解決的問(wèn)題和發(fā)展方向。
關(guān)鍵詞　陶瓷基復(fù)合材料；基體和增韌纖維；制造工藝；CVI工藝
中圖法分類號(hào)　TB332

CERAMIC MATRIX COMPOSITES AND
FABRICATION PROCESSES

Zhao Donglin
(Xi′an Engineering University, Xi′an 710054)
Zhou Wancheng
(Northwestern Polytechnical University, Xi′an 710072)

Abstract　Ceramic matrix composites are high temperature thermostructral engineering materials with high mechanical properties. The composites may overcome the problem of brittleness of ceramics extensively. This paper presents the reinforcement toughening mechanics of ceramic matrix composites, choice of matrix and reinforcement fibers, processes of CMC, especially the process of CVI(Chemical Vapor Infiltration). The improvement and development tendency of CMC are also presented.
Key words　ceramic matrix composites, matrix and reinforcement fibers, process of fabrication, process of CVI

　　現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展對(duì)材料的性能提出了越來(lái)越高的要求。在航空航天領(lǐng)域，飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)、火箭、宇宙飛船以及宇宙空間站等，更是迫切需要開(kāi)發(fā)新型材料。目前使用的金屬合金，在無(wú)冷卻條件下，*高工作溫度不超過(guò)1 050 ℃，而高溫結(jié)構(gòu)陶瓷，如Si₃N₄和SiC則分別在1 400 ℃和1 600 ℃以上仍保持著有較高的強(qiáng)度和剛性。所以高溫結(jié)構(gòu)陶瓷以其優(yōu)異的性能(尤其是高溫性能)而受到人們的普遍關(guān)注和研究，但由于陶瓷本身的缺陷——脆性尚未很好解決，而使其應(yīng)用受到限制，而用粒子、晶須或纖維增韌的陶瓷基復(fù)合材料(ceramic matrix composites 簡(jiǎn)稱CMC)則可使其脆性大為改觀。

1　陶瓷基復(fù)合材料增韌機(jī)理以及基體和纖維的選擇
1.1　陶瓷的增韌機(jī)理
　　陶瓷的增韌機(jī)理雖然很多，而且眾說(shuō)紛紜，但總體可分為5個(gè)方面：
　　(1)微裂紋增韌：殘余應(yīng)變場(chǎng)與裂紋在分散相周?chē)�發(fā)生反應(yīng)，從而使主裂紋*產(chǎn)生微裂紋分支。
　　(2)相變?cè)鲰g：由分散相的相變產(chǎn)生應(yīng)力場(chǎng)來(lái)阻止裂紋的擴(kuò)展。
　　(3)裂紋擴(kuò)展受阻：裂紋*的韌性分散相發(fā)生塑性變形使裂紋進(jìn)一步擴(kuò)展受阻或裂尖鈍化。
　　(4)裂紋偏轉(zhuǎn)：由于分散相和基體之間的TEC和E失匹而產(chǎn)生應(yīng)力場(chǎng)，從而使裂紋沿分散相發(fā)生偏轉(zhuǎn)。
　　(5)纖維(晶須)拔出：f/m界面脫膠或纖維拔出。
　　以上5種增韌機(jī)理中，*有發(fā)展前途的是裂紋偏轉(zhuǎn)和纖維拔出，因?yàn)樗鼈兒苌偈軠囟鹊南拗�，尤其是裂紋偏轉(zhuǎn)增韌，其增韌效果僅取決于分散相的體積分?jǐn)?shù)和形狀，而與粒子尺寸和溫度無(wú)關(guān)(圖1)，這樣對(duì)高溫增韌無(wú)疑是十分有利的，而這一點(diǎn)在玻璃-陶瓷系統(tǒng)中得到了證實(shí)^［1］。在實(shí)際增韌過(guò)程中往往是由幾種增韌機(jī)理同時(shí)起作用，而不是某個(gè)單獨(dú)機(jī)理，應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況來(lái)選擇具體的增韌機(jī)理^［2］。

圖1　分散相縱橫比對(duì)陶瓷韌性的影響　

1.2　基體材料的選擇
　　對(duì)基體材料，要求它有較高的耐高溫性能，與纖維(或晶須)之間有良好的界面相容性，同時(shí)還應(yīng)考慮到復(fù)合材料制造工藝性能�？晒┻x擇的基體材料有：玻璃、玻璃-陶瓷、氧化物陶瓷和非氧化物陶瓷材料。
　　(1)玻璃基復(fù)合材料的優(yōu)點(diǎn)是易于制作(因燃燒過(guò)程中可通過(guò)基體的粘性流動(dòng)來(lái)進(jìn)行致密化)，且增韌效果好。但其致命的缺點(diǎn)是由于玻璃相的存在容易產(chǎn)生高溫蠕變，同時(shí)玻璃相還容易向晶態(tài)轉(zhuǎn)化而發(fā)生析晶，使性能受損，使用溫度也受到限制。
　　(2) 氧化物類陶瓷是60年代以前主要使用的陶瓷材料，主要有MgO、Al₂O₃、SiO₂、ZrO₂和莫來(lái)石等，但這些材料均不宜用于高應(yīng)力和高溫環(huán)境中。
　　(3)非氧化物陶瓷，如Si₃N₄、SiC等由于具有較高的強(qiáng)度、模量和抗熱震性及優(yōu)異的高溫機(jī)械性能而受到人們的重視，與金屬材料相比，這類陶瓷材料還有密度較低等特點(diǎn)。

1.3　增強(qiáng)增韌纖維的選擇
　　陶瓷基復(fù)合材料中*早使用的纖維是金屬纖維，如W、Mo、Ta等，用來(lái)增韌Si₃N₄、莫來(lái)石、Al₂O₃和Ta₂O₅等，這樣的陶瓷基復(fù)合材料雖然可以得到較高的室溫強(qiáng)度，但其致命的缺點(diǎn)是在高溫下容易發(fā)生氧化，所以又發(fā)展了SiC涂層W芯纖維^［3］。用這種纖維增韌的Si₃N₄復(fù)合材料，斷裂功可提高到3 900 J*m^-2，但強(qiáng)度卻僅有55 MPa(圖2)，纖維的抗氧化性仍未解決，而且當(dāng)T為800 ℃時(shí)，強(qiáng)度會(huì)嚴(yán)重下降。C纖維由于有較高的強(qiáng)度、彈性模量和低的成本而被廣泛應(yīng)用于復(fù)合材料領(lǐng)域中，但實(shí)際中發(fā)現(xiàn)，在高溫下C纖維與許多陶瓷基體會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。Nicalon是由聚碳硅烷熔融紡絲后經(jīng)熱解而成的SiC纖維，其中含有過(guò)量的O和C，而過(guò)量的C有利于CMC制造過(guò)程中在f/m界面上形成富C層，它的存在有利于增韌，但在1 000 ℃以上它會(huì)嚴(yán)重氧化，使纖維性能大幅度下降，高溫下這種纖維增強(qiáng)復(fù)合材料還會(huì)產(chǎn)生脆化，主要是因?yàn)槔w維在高溫下性能受損，f/m界面結(jié)合加強(qiáng)。氧化物陶瓷纖維還很少受到人們的關(guān)注，主要是因?yàn)檫@些纖維與許多陶瓷基體界面結(jié)合過(guò)于牢固，同時(shí)纖維本身還很容易發(fā)生晶粒長(zhǎng)大，如果其中含有玻璃相時(shí)，則會(huì)發(fā)生高溫蠕變^［5］，起不到良好的增韌效果。但一系列涂層技術(shù)的研究和應(yīng)用，可望這類纖維的應(yīng)用前景能有所改觀。所以目前還迫切需要開(kāi)發(fā)高性能的陶瓷基復(fù)合材料的增韌纖維。

圖2　Si₃N₄ 陶瓷使用SiC涂層W芯
纖維增韌前后斷裂功的變化^［4］

2　陶瓷基復(fù)合材料制造工藝
2.1　傳統(tǒng)的漿料浸滲工藝
　　漿料浸滲工藝目前在制造長(zhǎng)纖維補(bǔ)強(qiáng)玻璃和玻璃-陶瓷及低熔點(diǎn)陶瓷基復(fù)合材料上應(yīng)用*多，并且*有效，在熱壓燒結(jié)時(shí)溫度應(yīng)接近或略高于玻璃的軟化點(diǎn)，這樣有利于粘性流動(dòng)的發(fā)生以促進(jìn)致密化過(guò)程的進(jìn)行。

2.2　Sol-gel法和聚合物熱解法
　　這種方法是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的，Sol-gel法是將金屬醇鹽在室溫或略高于室溫下水解，縮聚，得到溶膠和凝膠，再將其進(jìn)行熱處理，得到玻璃和陶瓷^［6］。

2.3　熔體浸滲法
　　熔體浸滲法在金屬基復(fù)合材料方面得到了廣泛應(yīng)用，并且卓有成效，但迄今為止在陶瓷基復(fù)合材料方面所做的工作仍為數(shù)不多，而未得到應(yīng)有的重視。這種方法只需通過(guò)浸滲處理即可得到完全致密和沒(méi)有裂紋的基體，從預(yù)制件到成品的處理過(guò)程中，其尺寸基本不發(fā)生變化，適合于制作任何形狀復(fù)雜的結(jié)構(gòu)件。

2.4　化學(xué)氣相浸滲(chemical vapor infiltration 簡(jiǎn)稱CVI)工藝
　　CVI工藝是在CVD(chemical vapor deposition化學(xué)氣相沉積)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種制備復(fù)合材料的新方法，CVI法能將反應(yīng)物氣體滲入到多孔體內(nèi)部，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并進(jìn)行沉積，特別適用于制備由連續(xù)纖維增強(qiáng)的陶瓷基復(fù)合材料。與固相粉末燒結(jié)法和液相浸漬法相比，CVI工藝在制備陶瓷基復(fù)合材料方面有以下顯著優(yōu)點(diǎn)：能在較低溫度下進(jìn)行材料的制備，例如在800～1 200 ℃下制備SiC陶瓷，而傳統(tǒng)的粉末燒結(jié)法的燒結(jié)溫度在2 000 ℃以上；能制備硅化物、碳化物、氮化物、硼化物和氧化物等多種陶瓷材料，并能實(shí)現(xiàn)在微觀尺度上的成分設(shè)計(jì)，能制備形狀復(fù)雜、近尺寸(near-net shapped)和纖維體積分?jǐn)?shù)高的部件。由于制備過(guò)程是在較低溫度下進(jìn)行，并且不需外加壓力，材料內(nèi)部的殘余應(yīng)力小，纖維幾乎不受損傷。
　　CVI的工藝方法主要有6種^［7］：等溫CVI(ICVI)，熱梯度CVI，等溫強(qiáng)制對(duì)流CVI，熱梯度強(qiáng)制對(duì)流CVI(FCVI)，脈沖CVI和位控CVD(PCCVD)等。在這6種方法中，*具代表性的是ICVI和FCVI兩種，下面介紹這兩種方法的基本原理。
　　(1)ICVI法：又稱靜態(tài)法，是把被浸滲的部件放在均熱的空間，反應(yīng)物氣體通