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合肥高歌熱處理應(yīng)用技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品詳細(xì)
CVD氣氛管式爐

CVD氣氛管式爐

參考價(jià)格:-

產(chǎn)地:合肥

發(fā)布時(shí)間:2015-8-14 9:40:25

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產(chǎn)品介紹:
 應(yīng)用領(lǐng)域:
CVD氣氛管式爐廣泛應(yīng)用于高中低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、納米氧化鋅的可控生長(zhǎng)、晶體硅基板鍍膜、金屬或非金屬在真空或氣氛條件下的焊接、燒結(jié)等工藝。

 主要特點(diǎn):
* 高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛,可拆卸式的三面密封法蘭,具有優(yōu)良的潔凈度和真空度。
* 全部采用超輕質(zhì)的陶瓷纖維制品耐火保溫,整機(jī)結(jié)構(gòu)小、能耗低、升溫快。
* 加熱元件采用進(jìn)口Kanthal電阻絲或U型硅鉬(碳)棒,壽命長(zhǎng)。
* 溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,具有良好的穩(wěn)定性和一致性。

 技術(shù)參數(shù):
設(shè)備型號(hào): GCVD(D)-06/30/1 GCVD(Z)-07/40/1 GCVD(G)-09/50/1 GCVD(G)-06/50/2
*高溫度: 1050℃ 1300℃ 1650℃ 1650℃
使用溫度: RT~1000℃ RT~1250℃ RT~1600℃ RT~1600℃
控制精度: ±1℃ ±1℃ ±1.5℃ ±1.5℃
溫區(qū)個(gè)數(shù): 1個(gè) 1個(gè) 1個(gè) 2個(gè)
爐管材質(zhì): 高純石英 99剛玉 99剛玉 99剛玉
發(fā)熱元件: Kanthal電阻絲 進(jìn)口電阻絲/硅碳棒 硅鉬棒 電阻絲、硅鉬棒
加熱區(qū)長(zhǎng)度: 300mm 400mm 500mm 500mm
爐管尺寸: Ф60×1000 Ф70×1100 Ф90×1300 Ф60×1450
加熱功率: 3Kw 4Kw 10Kw 8Kw

注:以上真空氣氛管式爐具備冷態(tài)極限真空6.67×10-3Pa,并可根據(jù)實(shí)際要求非標(biāo)定制。

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  • Email:zhouxia1006@163.com
  • http://www.hfgaoge.com
  • 主營(yíng)行業(yè): 燒結(jié)設(shè)備
  • 經(jīng)營(yíng)性質(zhì):請(qǐng)?jiān)谙铝斜碇羞x擇
  • 地區(qū):安徽
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